第319章 光刻机魔改一下？

2003年1月2号在信息产业部会议室里的这场大戏，直到多年后仍然时不时被与会的一些科研大佬提起。

这是顾松第一次在燧石研究院以外显露本领。

韩经纬是真的服了，再不怀疑倪光北的说法。

顾松答完第三个问题之后，就停止了这个“游戏”。他很干脆地说：“足够了吧？大家觉得我是狂妄也行，我需要对结果负责，我选择相信我自己。”

一个个人，老的少的男的女的，都神情复杂。

不是觉得你狂妄，是真有点狂妄啊。

可是……不服气也不行啊。看那3个提了问题的人一脸兴奋的样子，就知道这小子简直不是人。

顾松揉着太阳穴：“这一搞，又浪费了一个小时时间。对于芯火科技的设备引进，就真的没有思路和办法了吗？”

刚才密集地进入意识空间，冲击还是挺大的。

关键是大佬们的提问不好回答，又不是准备很充分的领域。

见顾松有提起这个问题，章儒京问道：“能在12寸晶圆上工作的初代光刻机，和现在最新的型号在制程工艺上都有充分可挖掘的空间。顾总如果有办法让这个型号的光刻机发挥出最高的效能出来，应该也能满足工艺的需要。”

顾松心中一动。

好像……可以魔改一下嘞？

已经过去的2002年，湾积电那边的林木坚才刚提出浸润式光刻的概念，还没有得到普遍认同。英特尔还在吭哧吭哧地往157纳米波长的光刻机里砸钱，但用193纳米波长的光刻机加上浸润式光刻技术，可以实现134纳米的波长，比157纳米的极限还高。

这样一来还搞毛的157纳米波长光刻机？

英特尔被迫掉了个头，而湾积电也成功七级跳，一举成为最大的巨头之一。

现在这个时间点……大家都还在研究嘞，第一台浸润式光刻机还没研发成功来着。

现在研发牛逼的光刻机来不及，魔改一下……可以试试？

虽然以现在国内的制造工艺水平，可能根本搞不定。但是外挂都开到这种程度了，不需要再过于小心翼翼了吧？

在章儒京眼中，顾松是扶着额头在思考。

但其实他已经又咬咬牙，钻到意识空间里去了。

在里面，一呆又是将近半个小时。

“193纳米波长的干式光刻机，实现浸润式光刻的改造方案？制造工艺水平要求最低的改造方案？”

人工智能谢茵然有宕机的迹象。

立体投影里出现一堆图形和数据。

“基于哪一个型号的光刻机进行改造？”

面对谢茵然的疑问，顾松果断地指了指其中的两台。一台是刚才章儒京说能搞到的最好的，一台是次先进的。

接下来，顾松就在里面等着改造方案。

虽然让沪海微电子装备现在直接研制国产光刻机难度大到没边，但自己这边有整套方案的话，让他们协助着魔改一下，可是可以预期的。

如果这样一来，相当于把制程水平可以往上拔至少2到3个时代啊。

如果真能实现的话……8寸晶圆生产线上做出来的产品，竞争力也大到足够啊。

是不是干脆就把章儒京的一条生产线魔改一下呢？

入个股？

……

顾松在意识空间里胡思乱想的时候，外面章儒京就在等顾松的反馈。

这个反馈来得很慢。

也确实，让光刻机发挥出最高的效能，哪有那么容易。

不是说不能调到最高的参数去刻，但都是纳米级微秒级的操作，对操作员和系统的要求实在太高了，良品率根本无法保证。

他心里也在考虑着，怎么借和芯火科技这次合作流片的契机，筹备一个独立的闪存厂，尝试引进12寸的生产线。

华芯国际的性质又有不同，引入12寸生产线还是有可能的。

他想得出神，忽然顾松像是回过神来了一样。

“章总，我有一个不太成熟的想法，要不咱们单独沟通一下？”

章儒京看着顾松笑眯眯的笑脸，忽然心中像是有些不太好的预感。

顾松拉着他走到角落，低头耳语。

章儒京额头冷汗都下来了：“你疯啦？一条生产线流片，还要再整一条生产线停产试验这个？”

“耽搁不了多长时间，你一个月反正也就产4万片左右。”

这是一回事吗？你装不懂？

章儒京像看疯子一样看他：“你要玩的是我的光刻机！这是一个月的事？玩坏了我那条线就废了！”

“玩坏了我赔钱嘛！到时候可以引进一条更好的！”

章儒京真是怕了他：“我的顾总！停产了我没订单，没订单怎么锻炼队伍改进工艺？怎么提高良品率？再说了，浸润式光刻现在只是初步设想，还没得到验证啊！”

顾松一脸媚笑：“相信我，能行的！”

我信你个鬼！